Photothèque des laboratoires de l'IN2P3

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1 d p metrologie micro vu 00149

1_d_p_metrologie_micro_vu_00149.jpg 1 d p plateforme instrumentale R&D silicium 00144Thumbnails1 d p plateforme instrumentale R&D silicium 001421 d p plateforme instrumentale R&D silicium 00144Thumbnails1 d p plateforme instrumentale R&D silicium 001421 d p plateforme instrumentale R&D silicium 00144Thumbnails1 d p plateforme instrumentale R&D silicium 001421 d p plateforme instrumentale R&D silicium 00144Thumbnails1 d p plateforme instrumentale R&D silicium 00142

Système de métrologie Micro-Vu

Le système de métrologie Micro-Vu combine une caméra CCD, un laser confocal et une table X,Y, Z automatique. D'une précision d'environ 2 µm, il est programmable et permet donc ensuite de faire les relevés de métrologie de manière automatique.