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Microscope Electronique à Balayage (MEB)

1_c_p_microscope_electronique_balayage_MEB_00230.jpg Bâti NEGMiniaturesBâti d'étalonnage de jauges et spectromètres de masseBâti NEGMiniaturesBâti d'étalonnage de jauges et spectromètres de masseBâti NEGMiniaturesBâti d'étalonnage de jauges et spectromètres de masseBâti NEGMiniaturesBâti d'étalonnage de jauges et spectromètres de masse

Microscope Électronique à Balayage (MEB)


Modèle : ZEISS Sigma300.
Source électronique
– Canon à effet de champs.
– Haute Tension 0,1 à 30 kV.
– Résolution latérale 1,1 nm à 20 kV.
– Courant de sonde : 4 pA à 100 nA.
Détecteurs
Imagerie
– Détecteurs d’électrons secondaires : SE2 et InLens
– Détecteur d’électrons retro-diffusés : BSE
Spectroscopie de rayons X à dispersion d’énergie (EDS)
Diffraction d’électrons retro-diffusés (EBSD)