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Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

1_c_p_spectrometrie_masse_ions_secondaires_SIMS_00234.jpg Le détecteur Agata au Grand accélérateur national d’ions lourds (GANIL)MiniaturesSpectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)Le détecteur Agata au Grand accélérateur national d’ions lourds (GANIL)MiniaturesSpectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)Le détecteur Agata au Grand accélérateur national d’ions lourds (GANIL)MiniaturesSpectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)Le détecteur Agata au Grand accélérateur national d’ions lourds (GANIL)MiniaturesSpectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)


Modèle : Compact SIMS d’Hiden Analytical.
Le SIMS « statique »
– Intensité faible des ions incidents ( 1nA/cm2) pulvérisation faible.
– Spectre surface avec m compris entre 0 et 300 amu.
– Analyse chimique (qq nm).
Le SIMS « dynamique »
– Intensité importante des ions incidents ( 1mA/cm2) pulvérisation forte (> 10µm/h).
– Analyse élémentaire en fonction de la profondeur.
– Méthode destructrice.
Faisceau :
– Energie/courant:1 to 5 keV / up to 400nA
– Gaz: Oxygène ou Argon
– Taille faisceau : < 50μm (imagerie) ,80 μm en profilométrie
– Résolution : 2 nm
– Détection qq ppm at