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Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)

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Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)


Modèle : Compact SIMS d’Hiden Analytical.
Le SIMS « statique »
– Intensité faible des ions incidents ( 1nA/cm2) pulvérisation faible.
– Spectre surface avec m compris entre 0 et 300 amu.
– Analyse chimique (qq nm).
Le SIMS « dynamique »
– Intensité importante des ions incidents ( 1mA/cm2) pulvérisation forte (> 10µm/h).
– Analyse élémentaire en fonction de la profondeur.
– Méthode destructrice.
Faisceau :
– Energie/courant:1 to 5 keV / up to 400nA
– Gaz: Oxygène ou Argon
– Taille faisceau : < 50μm (imagerie) ,80 μm en profilométrie
– Résolution : 2 nm
– Détection qq ppm at