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Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)
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Spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS)
Modèle : Compact SIMS d’Hiden Analytical.
Le SIMS « statique »
– Intensité faible des ions incidents ( 1nA/cm2) pulvérisation faible.
– Spectre surface avec m compris entre 0 et 300 amu.
– Analyse chimique (qq nm).
Le SIMS « dynamique »
– Intensité importante des ions incidents ( 1mA/cm2) pulvérisation forte (> 10µm/h).
– Analyse élémentaire en fonction de la profondeur.
– Méthode destructrice.
Faisceau :
– Energie/courant:1 to 5 keV / up to 400nA
– Gaz: Oxygène ou Argon
– Taille faisceau : < 50μm (imagerie) ,80 μm en profilométrie
– Résolution : 2 nm
– Détection qq ppm at
- Auteur
- Dominique Longieras / IJCLab
- Créée le
- Mardi 21 Février 2023
- Ajoutée le
- Mercredi 22 Novembre 2023
- Dimensions
- 5859*4370
- Fichier
- 1_c_p_spectrometrie_masse_ions_secondaires_SIMS_00234.jpg
- Poids
- 2060 Ko
- Mots-clés
- campus d'Orsay, CNRS, faisceaux, IJCLab, ions, laboratoire des 2 infinis irene joliot-curie, plateforme Vide & Surfaces, spectrométrie
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